Национальная Физическая Лаборатория (NPL), Великобритания,
предпочла российскую разработку для электронной литографии.
Компания Interface Ltd. произвела поставку и установку
программно-аппаратного комплекса NanoMaker в Национальную Физическую
Лабораторию стандартизации (NPL) Великобритании. Программно-аппаратный
комплекс NanoMaker предназначен для проектирования, подготовки данных, а
также создания 2D и 3D структур методами электронной литографии на базе
растровых электронных микроскопов. Установка была произведена на
микроскопе Hitachi S-4000 SEM с целью преобразования существующего
микроскопа в литографическую систему.
Выбор NPL определил тот факт, что по своим функциональным возможностям и
удобству интерфейса NanoMaker превосходит имеющиеся зарубежные аналоги.
Программно-аппаратный комплекс NanoMaker позволяет пользователю иметь
интуитивно понятный графический интерфейс для создания и проектирования
структур, осуществлять моделирование проявления резиста, учитывать
коррекцию эффекта близости для плоских и трехмерных структур,
рассчитывать компенсацию статических искажений отклоняющей системы,
измерять и активно подавлять динамические ошибки отклоняющей системы
пучка. NanoMaker позволяет также осуществлять дизайн и моделирование
таких сложных структур как голограммы и киноформная оптика, а также
работать с дозовыми кривыми резистов для трехмерных структур. В
стандартные функции NanoMaker включены функции работы со столом, снятия
изображения, возможности <<врисовывания>> в существующие структуры с
высокой степенью точности. Предоставляется возможность работы со снятым
изображением: осуществлять сглаживание изображения, просматривать
поперечное сечение, наносить метки масштаба и надписи.
Графический редактор в качестве базовых элементов имеет как простые, так
и сложные геометрические объекты. Один из новых базовых элементов
редактора - зонная пластина. Есть возможность работать с текстом,
пользоваться функцией задания текущего времени. Пользователю
предоставляется возможность работы со справочной таблицей, содержащей
информацию и рекомендации практически по всем известным материалам
резиста и подложки.
Достоинством системы NanoMaker является возможность работать с
изображениями, полученными в других форматах, например, .dfx, .csf,
.gds, .tif, .bmp. Настоящая версия NanoMaker выпускается как 32-х
разрядное приложение и предназначена для работы в среде Windows 9x, NT,
2000 и XP.
Разработка программно-аппаратного комплекса NanoMaker была осуществлена
для широкого спектра микроскопов и в настоящее время внедрена и
эксплуатируется на JEOL JSM-840, LEO 1560, BS-300, Philips SEM 525,
Hitachi S-4000, на комплексах ZRM-12, ZRM-20, а также на ионных
литографах с фокусированным пучком.
Программно-аппаратный комплекс NanoMaker позволяет на практике превращать
растровые электронные микроскопы в полноценные литографы. Использование
NanoMaker на промышленных литографических установках (например, ZBA20,
ZBA21) существенно расширяет и улучшает их характеристики и дает
возможность достичь предельного разрешения установки.
О компании Interface Ltd.
Компания Interface Ltd. создана в 1990 г. Interface Ltd. - российский
разработчик программных средств на базе наукоемких технологий. Основные
разработки лежат в области микро(нано) технологий, структурного анализа
двумерных матриц данных, а также создании электронных систем в сфере
e-commerce. Компания также успешно ведет проекты по автоматизации
предприятий, осуществляет поставку на российский рынок программного
обеспечения, содействует в подготовке к сертификации по стандартам
ISO900x и CMM, оказывает консалтинговые услуги и проводит обучение
информационным технологиям. Interface Ltd. входит в TOP100 консалтинговых
компаний России (по рейтингу РА "Эксперт"). Компания Interface Ltd.
поставляет программные продукты и решения компаний Oracle, Computer
Associates, Rational Software, Microsoft, Borland, Сrystal Decisions,
Centura/Gupta, QAD, ROSS Systems, Sybase, Symantec, Rockwell и др.
Дополнительная информация:
т. (095)105-0049, www.interface.ru/eng, www.nanomaker.ru[LINK],
Национальная Физическая Лаборатория (NPL), Великобритания. –
Английская национальная научная лаборатория по стандартизации. NPL -
международно признанный независимый центр высочайших исследований,
разработок и передачи знаний в области метрологии и естественных наук.
NPL создана более века назад и занимается разработкой и поддержанием
государственных стандартов. Области науки: нанотехнология, биотехнология,
стекловолоконная оптика, квантовая механика, материаловедение,
исследования окружающей среды, акустика, аналитические измерения,
электричество, математика, оптическое излучение, математические
вычислительные методы, ионизирующая радиация и т.д. www.npl.co.uk
export@interface.ru
