СОЖ Физика Атомная и молекулярная спектроскопия

Автор:АФАНАСЬЕВ В.П.

Виктор Петрович Афанасьев, кандидат физико-математических наук, доцент кафедры общей физики и ядерного синтеза Московского энергетического института. Область научных интересов - взаимодействие частиц и излучений с веществами сложного состава. Автор около 100 научных публикаций в области многократного рассеяния частиц и излучений в веществах сложного состава.

Год:1999

Номер:2

Совершенствование технологий обработки поверхности конструкционных материалов и создание новых микросхем немыслимы без контроля компонентного и послойного состава образцов. Измерение энергетических распределений электронов и ионов, рассеянных исследуемым материалом, дает возможность ответить на вопросы о химическом составе и профиле концентраций в приповерхностных слоях.

Текст статьи в формате PDF

Для чтения статьи скачайте программу просмотра.

---

Copyright (c) "Русский переплет"