СОЖ Химия Поверхностные явления

СОЖ Физика Поверхностные явления

Автор:ЛИФШИЦ В.Г.

Виктор Григорьевич Лифшиц, доктор физико-математических наук, профессор, зав. кафедрой физики и технологии материалов полупроводниковой микроэлектроники Дальневосточного государственного университета, зав. отделом Института автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения РАН. Область научных интересов: физика поверхности твердых тел. Автор более 150 научных статей и двух монографий.

Год:1997

Номер:2

Описаны условия формирования поверхностных фаз на кремнии в сверхвысоком вакууме. Обсуждается построение диаграмм различных поверхностных фаз. Статья содержит обзор данных об образовании двух- и трехкомпонентных поверхностных фаз на кремнии при процессах соадсорбции. Рассмотрены результаты изучения дельта-легирования, в котором дельта-легированные слои суть поверхностные фазы.

Текст статьи в формате PDF

Для чтения статьи скачайте программу просмотра.

---

Copyright (c) "Русский переплет"